Прибор для напыления ВНП-350
Описание
Приборы для выполнения процесса вакуумного напыления.
- Вакуумный прибор ВНП-350.01 для напыления работает с применением магнетронного метода, с помощью которого покрытия наносят на металл, стекло, керамику или пластик.
- Вакуумный прибор ВНП-350.02 для напыления выполняет напыление при помощи плазменно-дугового метода, который позволяет наносить металлы на токопроводящие поверхности.
Назначение
Приборы предназначены для нанесения покрытий из металлов и диэлектриков на токопроводящие и диэлектрические поверхности. Они нашли применение в электронике, машиностроении, медицине, применяются для получения покрытий во многих областях промышленности. Например, с его помощью наносят защитные покрытия на инструмент, декор на сувенирную продукцию или жаростойких покрытий на элементы авиационных двигателей.
Конструкция
Установки производятся в виде стоек, в которых расположено всё необходимое оборудование для работы вакуумной камеры. В 2-х металлических шкафах размещены три стойки:
- вакуумная, в ней расположена вакуумная камера со всем необходимым насосным оборудованием, для обеспечения необходимого уровня давлений;
- управления для ручного или автоматического режима работы установок, в неё входят приборы контроля давления, температуры, которые обрабатывают сигналы, поступающие из датчиков, и обеспечивают работу вакуумной камеры в нормальном технологическом режиме;
- питания, вырабатывающей все необходимые напряжения для работы магнетрона, вакуумно-дугового испарителя и всей системы в целом.
Характеристики
Модель изделия |
Прибор ВНП-350.01 |
Прибор ВНП-350.02 |
Метод напыления |
магнетронный |
плазменно-дуговой |
Напыляемые материалы |
металлы, диэлектрики |
металлы |
Материал объекта, на который производят напыление |
проводник, диэлектрик |
проводник |
Габариты объекта, на который производят напыление |
ø 250 мм, высота 150 мм |
|
Время готовности камеры по рабочему давлению |
20 мин |
|
Давление в рабочей камере (остаточное) |
1,3 10-3 Па |
|
Размер вакуумной камеры |
350×350×350 мм |
|
Число магнетронов |
3 |
- |
Число плазменно-дуговых испарителей |
- |
2 |
Тип применяемых насосов |
паромасляный |
|
Диаметр мишени |
84 мм |
- |